双阳极光源:Al Ka, hv = 1486.6 eV; Mg Ka, hv = 1253.6 eV;
真空系统性能:5×10-10mbar;最佳能量分辨率:≤0.43 eV;
最佳空间分辨率:≤20 microns双阳极光源:Al Ka, hv = 1486.6 eV; Mg Ka, hv = 1253.6 eV;
真空系统性能:5×10-10mbar;最佳能量分辨率:≤0.43 eV;
最佳空间分辨率:≤20 microns定性:可检测除H和He以外的几乎所有元素种类及价态信息;
半定量:测试深度<10 nm;成像:二维成像,200-800 μm