仪器平台

离子溅射仪

  • 仪器型号:E-1010
  • 生产厂家:Hitachi
  • 安放位置:1号楼A107
  • 联 系 人:任文强
  • 联系电话:010-62849159
性能指标
真空度:7 Pa;工作电流:0-30 mA;
膜层厚度:10 nm;样品尺寸:最大直径50 mm,最大高度15 mm;靶材:Au-Pd(6:4),Au,Pt-Pd(8:2),Pt

仪器用途
用于扫描电镜的样品表面镀金,改善样品的导电性

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