仪器平台

扫描电子显微镜(SEM)

  • 仪器型号:S-3000N
  • 生产厂家:Hitachi
  • 安放位置:1号楼A107
  • 联 系 人:刘芳
  • 联系电话:010-62910810
性能指标

加速电压:0.3 - 30 KV;放大倍数:5 - 300,000 X;

二次电子分辨率:3.0 nm(25KV,高真空模式);

可变压力模式分辨率:4.0 nm(25KV,可变压力模式)
附属配备
能谱仪、高真空离子溅射镀膜仪、临界点干燥仪、离子溅射仪
仪器用途
微观形貌观察、元素成分分析

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