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仪器平台

扫描电子显微镜（SEM）

  • 仪器型号：S-3000N
  • 生产厂家：Hitachi
  • 安放位置：1号楼A107
  • 联 系 人：任文强
  • 联系电话：010-62849159
性能指标

加速电压：0.3 - 30 KV；放大倍数：5 - 300,000 X；

二次电子分辨率：3.0 nm（25KV，高真空模式）；

可变压力模式分辨率：4.0 nm（25KV，可变压力模式）
附属配备
能谱仪、高真空离子溅射镀膜仪、临界点干燥仪、离子溅射仪
仪器用途
微观形貌观察、元素成分分析

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