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高真空离子溅射镀膜仪

  • 仪器型号：EM ACE600
  • 生产厂家：Leica
  • 安放位置：1号楼A116
  • 联 系 人：李洁
  • 联系电话：010-62849159
性能指标
镀膜精度：0.1 nm；溅射电流：0 - 150 mA；
镀膜方式：金属溅射、碳丝蒸发、电子束蒸发、辉光放电；工作距离：30 - 100 mm；真空度：2×10-6 mbar

仪器用途
用于制备超薄、细颗粒的导电金属膜和碳膜

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