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场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）

  • 仪器型号：SU-8020
  • 生产厂家：Hitachi
  • 安放位置：1号楼A116
  • 联 系 人：李洁
  • 联系电话：010-62849159
性能指标

加速电压：0.5 - 30 KV；放大倍数：30 - 800,000 X；

二次电子分辨率：1.0 nm（加速电压15KV、工作距离4 mm）、1.3 nm（加速电压1KV、工作距离1.5mm）

附属配备
能谱仪、高真空离子溅射镀膜仪、临界点干燥仪、离子溅射仪
仪器用途
微观形貌观察、表面元素成分点线面分析

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